[摘要]作为集成电路制造的“母机”，设备在集成电路产业发展中至关重要。提升设备领域的可控力，是破解集成电路产业“卡脖子”问题的关键之一。总体来看，我国已成为集成电路设备的最大消费国，但在关键设备和先进制程设备上面临美国、日本和欧洲厂商的垄断控制甚至是打压。为推动产业自主发展，近年来我国在集成电路产业设备领域涌现出一大批开拓者，在一定程度上实现部分设备的有效替代。但是，在美国对华政策日趋紧张的大背景下，集成电路设备本身行业规模不大和超长的产业链特征，降低了后发者进入的吸引力，且难以突破领先者形塑的技术路线，在后发赶超过程中还会面临领先企业依托自身优势构筑的“进入壁垒”以及可能实施的“定向狙击”。为此，需进一步保持战略定力，推动设备领域的国产化和赶超发展，不仅要着眼于长期发展目标以加大政策支持力度和创新政策工具，还要把握技术、市场等机会窗口期推动产业跃迁，强化国际合作尤其是与韩国等处于类似市场地位的国家合作，完善我国在设备领域的供应链体系。

[关键词]集成电路设备；全球竞争力；赶超战略